ASML官网显示:支持7nm高端DUV光刻机仍可出口
时间:2023-07-08 08:23:31来源:互联网


【资料图】

荷兰政府宣布了限制某些先进半导体设备出口的新规定,这些规定将于9月1日生效。具体而言,荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。

ASML在其官网发表声明称,该公司未来出口其先进的浸润式DUV光刻系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续浸润式系统)时,将需要向荷兰政府申请出口许可证。而

ASML强调,该公司的EUV系统的销售此前已经受到限制。

据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

理论上NXT:1980Di依然可以达到7nm,只是步骤更为复杂,成本更高,良率可能也会有损失,晶圆厂用这一台光刻机,大多是生产14nm及以上工艺的芯片,很少去生产14nm以下的工艺,因为良率低,成本高,没什么竞争力。

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